企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 东莞 |
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公司地址: | 东莞市东坑镇兴业路2号3栋5楼 |
光刻高精度靶,也被称为高分辨率测试靶或分辨率靶,光刻掩膜工艺,是微电子技术中用于校准和测试光刻系统分辨率的关键工具。以下是对光刻高精度靶的详细介绍:一、定义与用途光刻高精度靶是一种设计有精细图案的校准片,用于测量和评估光刻系统的分辨率能力。通过将这些靶片置于光刻机下曝光,可以直观地观察并测量出光刻系统能够达到的线宽或特征尺寸,从而评估其分辨率性能。二、技术特点高精度:光刻高精度靶的图案设计非常精细,分辨率可达到数千线对每毫米(lp/mm),甚至更高。这种高精度确保了测试结果的准确性和可靠性。负片图案设计:靶片上的图案通常采用负片设计,即图案部分不透明,背景部分透明。这种设计有助于在曝光过程中形成清晰的对比度,便于观察和测量。优异的尺寸稳定性:靶片基底材料经过特殊处理,光刻掩膜,具有优异的尺寸稳定性,能够在不同环境条件下保持图案的性。多种图案可选:为了满足不同测试需求,光刻高精度靶通常提供多种图案选择,如线条、星状、方格等。这些图案可以覆盖不同的分辨率范围和测试场景。
光刻掩膜工厂-光刻掩膜-大凡光刻靶由东莞市大凡光学科技有限公司提供。东莞市大凡光学科技有限公司拥有很好的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员,点击页面的商盟客服图标,可以直接与我们客服人员对话,愿我们今后的合作愉快!东莞市大凡光学科技有限公司 电话:- 传真:- 联系人:康先生 18024306806
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